美国Inprentus Inc利用专有的纳米级接触模式光刻技术制造光学器件。Inprentus 设计、制造和销售用于同步辐射设施、半导体制造和增强现实(AR)波导的衍射光栅。全球财富 500 强企业、学术机构和政府实验室都在使用 Inprentus 的衍射光栅,用于各种科学和商业应用。Inprentus公司由伊利诺伊大学香槟分校物理学教授Peter Abbamonte于2012年6月创立,旨在将创新的双原子显微镜划线技术商业化。
这项技术是表面高精度图案化的通用方法,适用于 X 射线和超紫外衍射光学,在这种光学中,须以 0.1 度的角度塑造特征,并在数十厘米的距离内以纳米级定位。
Inprentus主要产品:
衍射光栅、同步辐射光栅、辐射光栅、光谱学炽热衍射光栅
主要型号:
EUV、VLS、FEL
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